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半導体製造装置向け 製品一覧

主に半導体前工程の各プロセスで使用

半導体製造に関連する材料をご用意しております。
特に、フッ素材料については半導体プロセスにおいて重要な役割を担っており、高品質な半導体の製造を行うために必要不可欠な材料となります。
半導体製造プロセスにおいて、耐薬品性、耐熱性、クリーンな環境が材料に要求され、フッ素材料が欠かせない材料となっております。

チューブ、継手などの部品

半導体製造装置部品の材料には、耐薬品性に優れ、高純度薬液を汚染しないクリーンな材料として、フッ素樹脂が多く使用されています。

用途例
  • チューブ、継手などの部品

薬液供給設備(配管、チューブ、継手、バルブ、ポンプ)

薬液供給設備の材料には、耐薬品性に優れるフッ素樹脂が多く使用されています。安全性や耐久性を満足した上で高純度薬液を汚染しないクリーンな材料が要求されます。

用途例
  • 薬液供給設備(配管、チューブ、継手、バルブ、ポンプ)

排気ダクトの耐腐食コーティング

腐食性ガス用の排気ダクトの内面に、耐薬品性と難燃性に優れたフッ素樹脂コーティングが使用されています。

用途例
  • 排気ダクトの耐腐食コーティング