表面抵抗率

材料表面に沿った電気の流れにくさを示す指標。単位はΩ/sq。

静電気対策の設計指標として用いられ、10¹²Ω/sq（オームパースクエア）以上が絶縁領域、10⁶〜10¹²Ω/sqが静電気拡散領域、10⁶Ω/sq未満が導電領域に区分されるのが一般的である。半導体・電子部品の搬送治具では、急激な放電を避けつつ確実に電荷を逃がすため、静電気拡散領域への制御が求められる。